日本研制出测量纳米级尺寸超精密尺子
时间:2017-12-08

   日本研制出测量纳米尺寸的超精密标尺

  关西学院大学的一个研究小组于12月20日宣布,他们已经开发出一种可用于测量纳米级尺寸的超精密标尺。

  这个团队来自关西学院大学。他们开发的尺子是基于第二种碳化硅作为主要材料的硬度。硬质合金很难加工,研究人员专门为此开发了一种新的加工技术。他们把碳化硅放入加热到2000摄氏度的超真空环境中,然后切割其表面。

  使用这种加工技术,研究人员成功地在碳化硅材料的表面上形成了台阶结构,其中台阶的每一步为0.5nm,对应于标尺的一个刻度。据报道,研究人员可以将台阶的高度设置为0.76 nm和1 nm。

  研究人员表示,这种超精密标尺可广泛应用于超精密仪器,计算机CPU,大规模集成电路等纳米技术领域。新尺的耐腐蚀性优于传统硅精密尺。

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